6月1日消息 荷蘭ASML公司近日在官網(wǎng)宣布，完成了用于5nm及更先進(jìn)工藝的第一代HMI多光束檢測機HMI eScan1000的測試。

　　據(jù)介紹，HMI eScan1000能夠同時產(chǎn)生、控制九道電子束，與單個電子束檢查工具相比，將使吞吐量提高達(dá)600%。

　　據(jù)了解，新的MBI系統(tǒng)包括一個電子光學(xué)系統(tǒng)，能夠創(chuàng)建和控制多個初級電子波束，然后收集和處理產(chǎn)生的次級電子波束，將波束之間的串?dāng)_限制在2%以內(nèi)，并提供一致的成像質(zhì)量。它還具有提高系統(tǒng)總體吞吐量的高速階段和實時處理來自多個波束的數(shù)據(jù)流的高速計算體系結(jié)構(gòu)。

　　目前，首臺多波束檢測系統(tǒng)已于本周交付客戶進(jìn)行鑒定。ASML計劃增加光束數(shù)量和光束分辨率，以滿足未來幾代芯片制造商的產(chǎn)品路線圖要求。

特別提醒：本網(wǎng)內(nèi)容轉(zhuǎn)載自其他媒體，目的在于傳遞更多信息，并不代表本網(wǎng)贊同其觀點。其原創(chuàng)性以及文中陳述文字和內(nèi)容未經(jīng)本站證實，對本文以及其中全部或者部分內(nèi)容、文字的真實性、完整性、及時性本站不作任何保證或承諾，并請自行核實相關(guān)內(nèi)容。本站不承擔(dān)此類作品侵權(quán)行為的直接責(zé)任及連帶責(zé)任。如若本網(wǎng)有任何內(nèi)容侵犯您的權(quán)益，請及時聯(lián)系我們，本站將會在24小時內(nèi)處理完畢。