7 月 22 日消息 本月中旬，合肥至微項目當(dāng)日正式量產(chǎn)，這是中國國內(nèi)首個立項又最先量產(chǎn)的 12 英寸晶圓再生工廠。

　　所謂“晶圓再生”，指的是通過去除損耗控?fù)跗砻娴碾s質(zhì)和缺陷，使處理后的晶圓達(dá)到新片的標(biāo)準(zhǔn)，實現(xiàn)其循環(huán)再利用，進(jìn)而為企業(yè)節(jié)約大量成本。

　　據(jù)介紹，合肥至微項目總投資近 10 億元，2020 年 3 月正式開工，2020 年 12 月項目設(shè)備基本搬入調(diào)試，2021 年 3 月，進(jìn)入試生產(chǎn)階段，至 6 月進(jìn)入量產(chǎn)階段。

　　合肥量產(chǎn)的這一晶圓再生項目以 14 納米晶圓廠的再生晶圓需求為設(shè)計基礎(chǔ)，是服務(wù)于中國半導(dǎo)體高階市場的首條投產(chǎn)的 12 英寸晶圓再生產(chǎn)線。該項目全面達(dá)產(chǎn)后，可形成每年 168 萬片晶圓再生及 120 萬件零部件清洗的能力，滿產(chǎn)后年產(chǎn)值可超過 6 億元。

　　目前我國在晶圓制造領(lǐng)域中完成了 8 英寸晶圓的自給自足，與硅芯片制程工藝的定義標(biāo)準(zhǔn)不同，一般來說，規(guī)格尺寸越大的晶圓，生產(chǎn)難度越高。

　　合肥至微半導(dǎo)體是至純科技旗下的一家負(fù)責(zé)“半導(dǎo)體晶圓再生和部件再生”項目的載體。至純科技前不久量產(chǎn)成功的 28 納米濕法清洗設(shè)備已經(jīng)交付給中芯國際、華虹集團使用，有關(guān) 14 納米、7 納米制程的清洗設(shè)備將于 2022 年交給華為、中芯國際等國產(chǎn)廠商進(jìn)行客戶認(rèn)證。

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