7 月 1 日消息 據(jù)國(guó)家智能傳感器創(chuàng)新中心消息，6 月 30 日，由國(guó)家智能傳感器創(chuàng)新中心建設(shè)的國(guó)內(nèi)首條 12 英寸先進(jìn)傳感器中試線成功通線。

▲圖文無(wú)關(guān)

　　據(jù)介紹，該中試線以國(guó)產(chǎn)設(shè)備為主，具備晶圓鍵合、晶圓減薄、干濕法刻蝕、物理和化學(xué)氣相沉積、原子層沉積、化學(xué)機(jī)械研磨、濕法清洗、自動(dòng)化量測(cè)等先進(jìn)傳感器和晶圓級(jí) 3D 集成技術(shù)的核心工藝能力，同時(shí)為國(guó)產(chǎn)裝備提供驗(yàn)證平臺(tái)，加速先進(jìn)傳感器產(chǎn)業(yè)鏈國(guó)產(chǎn)化，實(shí)現(xiàn)自主可控。

　　國(guó)家智能傳感器創(chuàng)新中心表示，將在 12 英寸中試線持續(xù)開(kāi)發(fā)新材料、新工藝、新器件和新集成等關(guān)鍵共性技術(shù)，重點(diǎn)突破光學(xué)、聲學(xué)、力學(xué)、生物等先進(jìn)傳感器的核心工藝，并推動(dòng)相關(guān)產(chǎn)品及應(yīng)用的產(chǎn)業(yè)化。

特別提醒：本網(wǎng)信息來(lái)自于互聯(lián)網(wǎng)，目的在于傳遞更多信息，并不代表本網(wǎng)贊同其觀點(diǎn)。其原創(chuàng)性以及文中陳述文字和內(nèi)容未經(jīng)本站證實(shí)，對(duì)本文以及其中全部或者部分內(nèi)容、文字的真實(shí)性、完整性、及時(shí)性本站不作任何保證或承諾，并請(qǐng)自行核實(shí)相關(guān)內(nèi)容。本站不承擔(dān)此類(lèi)作品侵權(quán)行為的直接責(zé)任及連帶責(zé)任。如若本網(wǎng)有任何內(nèi)容侵犯您的權(quán)益，請(qǐng)及時(shí)聯(lián)系我們，本站將會(huì)在24小時(shí)內(nèi)處理完畢。